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显微镜的像散和像散弯曲

来源:  发布时间:2018-11-15   点击量:256

显微镜由轴外一点发出的入射光线与光轴所成倾角较大时,即使是窄光束,出射光线也不可能很好地交于一点,而在空间不同地方相交于两条相互垂直的焦线,将两条焦线之间的距离称为像散。

显微镜的像散和像散弯曲

显微镜对于垂直系统光轴的物平面,明晰圆的轨迹一般是个曲面,其偏离高斯平面的距离就是像散弯曲。

显微镜的像散和像散弯曲


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